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首頁-技術文章-了解膜厚傳感器的工作原理

了解膜厚傳感器的工作原理

更新時間:2025-12-29      點擊次數:130
  膜厚傳感器是非接觸/接觸式測量物體表面薄膜、鍍層、涂層厚度的核心傳感元件,廣泛用于實驗室材料表征、半導體晶圓鍍膜、五金電鍍檢測、玻璃涂層、電池極片涂層、精密零件鍍層檢測等場景,是各類實驗室檢測儀器的核心配套傳感部件,精度從納米級到毫米級,不同原理適配不同檢測需求。
  膜厚傳感器的工作原理多種多樣,主要取決于其使用的技術類型,包括但不限于以下幾種:
  光學干涉原理:當一束光波照射到薄膜表面時,會在薄膜表面和底部之間形成多次反射和透射,產生干涉現象。通過測量反射和透射光波的相位差,可以計算出薄膜的厚度。這種方法通常采用反射法或透射法,其中反射法是通過測量反射光波的相位差來計算薄膜厚度,而透射法則是通過測量透射光波的相位差來實現。
  電磁學原理:一些膜厚傳感器采用磁感應和電渦流原理。磁感應測量儀利用測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通大小來測定覆層厚度。電渦流測量儀則是通過高頻交流信號在測頭線圈中產生電磁場,當測頭靠近導體時,形成渦流,渦流的大小與測頭與導電基體之間的距離有關,從而可以測量非導電覆層的厚度。
  超聲波測量:超聲波傳感器通過發射超聲波脈沖并接收其反射信號來測量厚度。超聲波在材料中傳播的速度是已知的,通過計算發射和接收信號的時間差,可以計算出材料的厚度。這種方法適用于金屬、塑料、玻璃等多種材料,且無需接觸被測物體。

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